机械硕士专业学位研究生培养方案（全日制・集成电路装备（非光刻机）方向）

一、学位点或领域方向简介

本校机械硕士专业学位面向国家战略性新兴产业，紧扣集成电路制造装备及精密制造领域的国家重大需求，发挥上海及长三角地区的产业优势，聚焦“智能制造与精密检测”领域开展学科建设及人才培养。

“机械工程”学科是我校设立最早的传统优势学科，2009年列入上海市教委重点学科，支撑的“机械工程”专业为教育部第二批卓越工程师教育计划建设点，并于2019年入选首批国家级一流本科专业建设名单。学科自2012年起在“服务国家特殊需求人才培养项目”中培养专业学位硕士研究生，积累了丰富的工程人才培养经验。

针对集成电路装备精密设计与制造、装备智能控制与检测技术、装备系统集成与测试和先进制造技术与工艺等问题,紧扣集成电路产业链国家重大需求，机械工程学位点先后与德国、芬兰、瑞典、澳大利亚、美国、加拿大、意大利等20多家海外高校建立了合作关系,联合上海华虹、中国商飞、上海电气等单位，依托校内实验室、企业共建研究中心、研究生企业培养基地等设立聚焦于集成电路装备的机械硕士专项班,开展人才培养与技术攻关，促进机械工程与集成电路的深度交叉融合，为上海及长三角地区集成电路产业培养具备跨学科知识的高层次应用型机械工程人才。

本专项班的人才培养对接上海及长三角地区集成电路产业需求，围绕“集成电路装备（除光刻机）”，重点培养具备掌握机械工程及集成电路装备领域坚实的基础理论和宽广的专业知识，能够对接集成电路产业需求，从事集成电路专用设备（除光刻机外）中的检测、组装及测试等装备相关设计与应用，具有较强的实践能力和创新意识，具备良好的职业素养，能进行集成电路专用设备设计开发、技术研发、工程实施、项目咨询及运行管理的硕士层次工程技术人才。

1．掌握马克思主义、毛泽东思想和邓小平理论，拥护党的基本路线和方针政策，热爱祖国，遵纪守法，具有良好的职业道德和创业精神，积极为我国经济建设和社会发展服务。

2．掌握机械工程及集成电路装备领域坚实的基础理论和专业知识，根据研究方向的不同，掌握相应的核心知识体系。了解国内外集成电路装备领域工程技术的现状和发展趋势，熟悉相关规范，掌握解决集成电路装备问题的先进技术方法和手段，具有较强的实践能力和创新意识，具有一定的创新能力，具有良好的职业素养，能进行该领域专用设备设计开发、技术研发、工程实施、项目咨询及运行管理的硕士层次工程技术人才。

3．外语能力

掌握一门外国语，在集成电路装备相关领域具备较熟练的听、说、读、写、译能力。

集成电路装备精密设计：面向光刻机以外IC装备，依托《计算机辅助机械工程基础》《集成电路原理》等课程，开展高刚度轻量化结构设计、精密传动与驱动系统、高洁净度环境下机构运动学与动力学研究。

装备智能检测：以《现代控制工程》《新型传感器技术》《设备状态监测与故障诊断》为核心，结合《数值分析方法》，面向装备自动化与智能化，开展高精密多轴运动控制、机器视觉图像处理、嵌入式控制与实时通讯技术研究。

装备系统制造：借助《集成电路原理》《半导体材料与器件》《高端装备与智能制造》，聚焦整机性能，开展光机电液多学科耦合系统集成设计、装备振动与噪声控制、性能测试与可靠性评估。

先进制造技术与工艺：面向装备关键零部件，依托《半导体材料与器件》《高端装备与智能制造》《计算机辅助机械工程基础》，开展超精密加工、特种加工技术及复合材料在装备中的应用研究。

专业学位硕士研究生学习方式为全日制，基本修业年限3年，弹性幅度最短不少于2.5年，最长不超过5年。全日制硕士研究生应在学校规定的最长修业年限内完成学业。

培养方式通过课程学习、专业实践和学位论文三个环节递进式开展，其中专业实践和课程学习采用学分制进行量化考核。

1. 采用成建制“住企”联合培养方式：每年从“机械”专业硕士点招20名硕士研究生，在上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海华虹集成电路有限责任公司、上海华力微电子公司、上海格科微电子公司、安靠封装测试(上海)有限公司等合作单位进行深度产教融合、开展“住企”人才培养。

2. 采用校企“双导师”联合培养制：聘请集成电路相关领域的专家、学者和实践领域有丰富经验的企业专业人员担任研究生导师，以在企和企业导师指导为主，校内导师参与各个培养阶段的指导工作。

3. 采用产教融合的师资队伍：以培养集成电路产业人才为目标构建课程体系，聘请相关企业专家走进课堂传授行业知识和实践经验。

总学分为32学分，包括理论课程学习24学分，实践教学8学分。

1. 课程学习应修满不少于24学分。其中公共课不少于7学分，专业基础课不少于9学分，专业选修课不少于6学分，综合素养课不少于2学分。

表1 课程设置与学分要求对应表

*完成专业基础课和专业必修课的学分后，可以用专业基础课或专业必修课超出的学分抵充专业选修课的学分。但专业选修课的学分不得抵充专业基础课和专业必修课的学分。

2. 实践教学课程分类及学分分布见表2：

表2 实践教学学分安排

*实践环节是全日制工程硕士专业学位研究生培养的一个特色和重要环节，研究生不参加实践或实践考核未通过，不得申请毕业和学位论文答辩。

专业实践是工程类硕士专业学位研究生获得工作经验，提高实践能力的重要环节，是提高研究生创新意识和创新能力的重要保证。专业实践可采用集中实践和分段实践相结合的方式。

具有2年及以上企业工作经历的工程类硕士专业学位研究生专业实践时间应不少于6个月，不具有2年企业工作经历的工程类硕士专业学位研究生专业实践时间应不少于1年。

研究生必须完成专业实践各个模块的实践内容，并至少获得8学分视为专业实践通过。专业实践未通过，不得申请学位论文答辩。

表3专业实践设置与学分对应表

*说明：公开做一次学术报告是指在国内外行业性、学术会议上做一次学术报告。

学位论文研究工作是专业学位硕士研究生综合运用所学基础理论和专业知识，在一定实践经验基础上，掌握对工程实际问题研究能力的重要手段。选题应来源于工程实际或者具有明确的工程应用背景，学位论文研究工作一般应与专业实践相结合。研究生必须在导师指导下独立完成学位论文，具备相应的技术要求和较充足的工作量，体现作者综合运用科学理论、方法和技术手段解决工程技术问题的能力。工作程序应包括预开题、开题报告、中期检查、答辩等环节，各环节均须由导师参与并签署书面意见。

1.论文选题要求

论文选题应在本学科或交叉学科范围内，来源于工程实际或者具有明确的工程应用背景，可以是一个完整的工程技术项目的设计或研究课题，可以是技术攻关、技术改造专题，也可以是新工艺、新设备、新材料、新产品的研制与开发等。

2.论文形式及要求

论文可以是应用研究类学位论文（如工程设计与研究、技术研究或技术改造方案研究等），或是设计类和产品开发类论文（如产品研发、工程设计与工程应用等）。具体要求详见材料与化工硕士专业学位基本要求。

3.论文规范要求

学位论文撰写要求概念清晰，逻辑严谨，结构合理，层次分明，文字通畅，图表清晰，概念清楚，数据可靠，计算正确。具体撰写规范详见《上海第二工业大学研究生学位论文撰写规范》。

4.论文水平要求

①论文工作有一定的技术难度和深度，论文成果具有一定的先进性和实用性，在理论分析、测试技术、数据处理、仪器设备和工艺方法等任一方面有一定的新见解、创新或改进等情况。

②学位论文工作应在导师指导下独立完成，论文工作量饱满；实际工作时间不得少于一年。

③学位论文中的文献综述应对选题所涉及的工程技术问题或研究课题的国内外状况有清晰的描述与分析。

④学位论文的正文应综合应用基础理论、科学方法、专业知识和技术手段对所要解决的科研问题或工程实际问题进行分析研究，并能在某些方面提出独立见解。

九、评审与答辩

1.论文评阅

学位论文必须经过导师评阅、学术不端相似度检测、双盲评审、同行学术评议等环节，符合条件者可申请学位论文答辩。

2.论文答辩

提交论文答辩申请，须满足下列条件之一：

①在申请学位的课题研究领域，至少有以本校为第一署名单位且本人为第一作者或除导师外的第一作者，公开在北大中文核心期刊以上学术刊物（或上海第二工业大学学报）1篇（以刊出或收到录用通知为准）；

② 本人作为除导师组外，排名第1 发明人所申请的发明专利1项（公开或授权，1项专利只能用于一名研究生申请学位）；

③本人作为除导师组外，排名第1获得国家级创新创业竞赛奖项或者国家创新创业A类竞赛省级奖项；

④其他特殊情况由分学位委员会认定。

学位论文答辩委员会由3-5 名具有高级职称或相当专业技术职称的专家组成，委员中应有1-2位相关行业的校外专家，其中答辩委员会主席由教授或相当职称的校外专家担任。

答辩委员会以无记名投票方式对是否通过论文答辩进行表决，经全体答辩委员三分之二以上（含三分之二）同意，方可通过，否则视为不通过。

学位论文答辩未通过者，学位论文工作需要进一步深化和完善，申请人可在论文修改后重新申请答辩。

研究生完成培养方案规定的专业实践、课程学习、论文研究等培养环节后，修满规定学分，并通过学位论文答辩，符合学位授予条件的，由上海第二工业大学学位评定委员会审核批准，授予机械硕士专业学位。