机械工程（集成电路方向）硕士专业学位研究生培养方案（085500）

上海第二工业大学

“机械工程”（集成电路方向）硕士专业学位研究生培养方案

（全日制）

专业代码：085500

一、专业学位类别简介

本校机械工程专业学位（集成电路方向）瞄准国家集成电路相关战略新兴产业，紧扣集成电路装备自主可控的国家重大需求，充分发挥上海及长三角地区在集成电路设计、制造、封测与装备领域的全产业链优势，聚焦“集成电路装备（除光刻机）”领域开展学科建设与应用创新型人才培养。本学位点设置了特色鲜明的三个研究方向：集成电路装备设计与集成、集成电路测试技术、集成电路应用。研究生培养依托学校在智能制造与精密工程领域的学科基础，与上海市智能制造及机器人重点实验室、上海市微电子材料与元器件检测专业技术服务平台等平台紧密结合，并拥有上海微电子装备（集团）股份有限公司、上海集成电路研发中心有限公司等20余家行业领军企业及研究机构共建的研究生培养基地。

本学位点汇聚了一支学科交叉紧密、理论基础扎实、工程经验丰富的校内外双导师队伍。针对我国集成电路产业链中高端制造与封测装备的“卡脖子”问题，依托上海第二工业大学在机械、电子、控制等多学科交叉优势，联合上海市集成电路行业协会、上海华虹（集团）有限公司、华力微电子有限公司等单位，设立集成电路方向的学位点，致力于培养精通工艺、擅长集成、能够解决复杂高端装备工程技术难题的复合型应用创新人才。

二、培养目标

本学位点面向上海及长三角地区集成电路产业需求，围绕“集成电路装备（除光刻机）”，重点培养具备掌握集成电路领域坚实的基础理论和宽广的专业知识，能够对接集成电路产业需求，从事集成电路专用设备中的检测、组装及测试等设备相关设计与应用，具有较强的实践能力和创新意识，具有一定的创新能力和良好的职业素养，能进行集成电路专用设备设计、技术研发、工程实施、项目咨询及运行管理的硕士层次工程技术人才。

1.综合素质与业务能力

本专项班毕业生拥护中国共产党的领导，热爱祖国，遵纪守法，具有服务国家和人民的高度社会责任感，具有良好的职业道德和创新精神，科学严谨和求真务实的学习态度和工作作风。具有灵活运用知识的能力，知识面广，可以提出并解决部分工程问题。有一定的学术素养、基本掌握“集成电路装备（除光刻机外）”领域的学科现状、发展动态和国际学术研究的前沿，了解本学科相关的知识产权。有甘于奉献的精神，对集成电路行业有正确的认识。具有严谨的学术态度，实事求是地进行各项测试，客观全面地展示实验结果，具有一定的对研究结果进行分析的能力。

2.专业基础与实践能力

掌握除光刻机外集成电路装备领域坚实的基础理论和宽广的专业知识，根据研究方向的不同，掌握相应的核心知识体系。了解国内外集成电路装备领域工程技术的现状和发展趋势，熟悉集成电路装备领域的相关规范，掌握解决集成电路装备制造问题的先进技术方法和手段，在本领域的某一方向具有独立担负工程设计、工程实施、工程研究、工程开发、工程管理等专门技术工作的能力，具有较强的实践能力和创新意识，具有一定的创新能力，具有良好的职业素养。

3.外语能力

掌握一门外国语。在集成电路装备相关领域，具备较熟练的听、说、读、写、译能力。

三、学习方式与修业年限

学习方式为全日制，基本修业年限3年，弹性幅度最短不少于2.5年，最长不超过5年。全日制硕士研究生应在学校规定的最长修业年限内完成学业。

培养方式通过课程学习、专业实践和学位论文三个环节递进式开展，其中专业实践和课程学习采用学分制进行量化考核。

四、培养方式

1. 采用成建制“住企”联合培养方式：每年从“电子信息”和“机械”专业硕士点招20名硕士研究生，在上海微电子装备(集团)股份有限公司、上海华虹集成电路有限责任公司、上海华力微电子公司、上海格科微电子公司、安靠封装测试(上海)有限公司等合作单位进行深度产教融合、开展“住企”人才培养。

2. 采用校企“双导师”联合培养制：聘请集成电路相关领域的专家、学者和实践领域有丰富经验的企业专业人员担任研究生导师，以校内导师指导为主，企业导师参与各个培养阶段的指导工作。

3. 采用“线上线下”、理论与实践深度融合互补教学方式：课程设置以企业需求为目标，通过课内传授、课外指导，邀请企业专家与“特级技师”走进课堂和实验室现场传授技术经验，与学校教师构成“AB”角展开教学。

五、培养方向

本专项班下设三个研究方向进行培养：

1. 集成电路装备设计与集成

面向行业需求，开展集成电路自动化装备设计与集成方法研究。包括集成电路装备中的光学、结构、高精密运动控制、环境状态监测与控制、力学分析等技术环节。

2. 集成电路测试技术

面向行业需求，开展集成电路及专用设备的自动化测试方法研究与实现。包括集成电路装备的功能性测试和芯片生产质量（外观、引脚、印刷等质量缺陷）测试设备的设计、开发与应用。

3.集成电路应用

面向行业应用需求，开展基于嵌入式系统的智能应用端设备开发与学习。结合集成电路芯片、传感器、移动通信、大数据分析与处理等技术，研究智能系统在具体场景中的设计和应用实现。

六、课程设置

课程学习是专业硕士学位研究生掌握基础理论和专业知识，构建知识结构的主要途径。研究生课程实行学分制。研究生课程包括公共课、专业必修课、专业选修课和人文与职业素养课程。公共课、专业必修课考核方式为考试，其他课程考核方式为考试或考查。课程学习应修满不少于24学分，其中公共课不少于9学分，专业基础课不少于7学分，专业选修课不少于6学分，综合素养课不少于2学分。

表1 课程设置与学分要求对应表

七、专业实践

专业实践是工程类硕士专业学位研究生获得工作经验，提高实践能力的重要环节，是提高研究生创新意识和创新能力的重要保证。专业实践可采用集中实践和分段实践相结合的方式。

具有2年及以上企业工作经历的工程类硕士专业学位研究生可以申请免修专业实践，不具有2年企业工作经历的工程类硕士专业学位研究生专业实践时间应不少于1年。

研究生必须完成专业实践各个模块的实践内容，并至少获得8学分视为专业实践通过。专业实践未通过，不得申请学位论文答辩。

表2 专业实践设置与学分对应表

  说明：公开做一次学术报告是指在国内外行业性、学术会议上做一次学术报告。

八、学位论文

学位论文研究工作是专业学位硕士研究生综合运用所学基础理论和专业知识，在一定实践经验基础上，掌握对工程实际问题研究能力的重要手段。选题应来源于工程实际或者具有明确的工程应用背景，学位论文研究工作一般应与专业实践相结合。研究生必须在导师指导下独立完成学位论文，具备相应的技术要求和较充足的工作量，体现作者综合运用科学理论、方法和技术手段解决工程技术问题的能力。工作程序应包括预开题、开题报告、中期检查、答辩等环节，各环节均须由导师参与并签署书面意见。

1.论文选题要求

论文选题应在本学科或交叉学科范围内，来源于工程实际或者具有明确的工程应用背景，可以是一个完整的工程技术项目的设计或研究课题，可以是技术攻关、技术改造专题，也可以是新工艺、新设备、新产品的研制与开发等。

2.论文形式及要求

论文可以是应用研究类学位论文（如工程设计与研究、技术研究或技术改造方案研究等），或是设计类和产品开发类论文（如产品研发、工程设计与工程应用等）。

3.论文规范要求

学位论文撰写要求概念清晰，逻辑严谨，结构合理，层次分明，文字通畅，图表清晰，概念清楚，数据可靠，计算正确。具体撰写规范详见《上海第二工业大学研究生学位论文撰写规范》。

4.论文水平要求

①论文工作有一定的技术难度和深度，论文成果具有一定的先进性和实用性，在理论分析、测试技术、数据处理、仪器设备和工艺方法等任一方面有一定的新见解、创新或改进等情况。

②学位论文工作应在导师指导下独立完成，论文工作量饱满；实际工作时间不得少于2年。

③学位论文中的文献综述应对选题所涉及的工程技术问题或研究课题的国内外状况有清晰的描述与分析。

④学位论文的正文应综合应用基础理论、科学方法、专业知识和技术手段对所要解决的科研问题或工程实际问题进行分析研究，并能在某些方面提出独立见解。

5.论文评阅

学位论文必须经过导师评阅、学术不端相似度检测、双盲评审、同行学术评议等环节，符合条件者可申请学位论文答辩。

6.论文答辩

学位论文答辩委员会由3-5 名具有高级职称或相当专业技术职称的专家组成，委员中应有1-2位相关行业的校外专家，其中答辩委员会主席由教授或相当职称的校外专家担任。

答辩委员会以无记名投票方式对是否通过论文答辩进行表决，经全体答辩委员三分之二以上（含三分之二）同意，方可通过，否则视为不通过。

学位论文答辩未通过者，学位论文工作需要进一步深化和完善，申请人可在论文修改后重新申请答辩。

7.毕业要求

提交论文答辩申请，须满足下列条件之一：

①在申请学位的课题研究领域，至少有以本校为第一署名单位且本人为第一作者或除导师外的第一作者，公开在北大中文核心期刊以上学术刊物（或上海第二工业大学学报）1篇（以刊出或收到录用通知为准）；

② 本人作为除导师组外，排名第1 发明人所申请的发明专利1项（公开或授权，1项专利只能用于一名研究生申请学位）；

③本人作为除导师组外，排名第1获得国家级创新创业竞赛奖项或者国家创新创业A类竞赛省级奖项；

④其他特殊情况由分学位委员会认定。

九、学位授予

研究生完成培养方案规定的专业实践、课程学习、论文研究等培养环节，修满规定学分，并通过学位论文答辩，符合学位授予条件的，由上海第二工业大学学位评定委员会审核批准，授予工学硕士学位。